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Business Info

사업소개

진공밸브사업

Protection Gate Valve (PGV)

제품설명

  • - 공정 Back-stream 보호 (펌프 다운시 밸브가 긴급히 0.3초 이내에 빠르게 닫힘)
  • - 공정 파우더로 부터 밸브 메커니즘 보호
  • - CVD, DIFF, METAL, ETCH 프로세스 등 전공정 적용
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상세내용



  - Capacitor 탄화방지예방 기능

  - Backstream 방지보완기능

  - 파우더에 대한 구동성능 향상

  - Bypass Valve 구조 향상 (O-Ring 식각방지구조)

  - 방치압 향상

스펙



동영상

기술자료