Business Info
사업소개
진공밸브사업
Heating Protection Gate Valve (HPGV)
제품설명
- - 공정 Back-stream 보호 (펌프 다운시 밸브가 긴급히 0.3초 이내에 빠르게 닫힘)
- - 공정 파우더로 부터 밸브 메커니즘 보호
- - 밸브 히팅을 통한 공정파우더의 내부 증착 방지 기능 (Valve Heating <190°C)
- - CVD, DIFF, METAL, ETCH 프로세스 등 전공정 적용
상세내용
- Capacitor 탄화방지예방 기능
- Backstream 방지보완기능
- Heating 효율 향상
- 파우더에 대한 구동성능 향상
- Bypass Valve 구조 향상 (O-Ring식각 방지 구조)
- 방치압 향상
스펙
동영상
기술자료
- [HPGV] Heating Protection Gate Valve Gen4.0 Manual (Rev.02)