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Business Info

사업소개

진공밸브사업

Auto Gate Valve (AGV)

제품설명

  • - 공정 Back-stream 보호 (펌프 다운시 밸브가 긴급히 0.5초 이내에 빠르게 닫힘)
  • - 공정 파우더로 부터 밸브 메커니즘 보호
  • - ETCH, Metal 프로세스 등 적용
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상세내용


 

  - Capacitor 탄화방지예방 기능 (Main Controller)

  - Backstream 방지보완기능

  - ETCH공정 Gas에 의한 O-Ring식각방지 Mechanism구현 (파우더에 대한 구동성능 향상)

  - Bypass Valve 구조 향상 (O-Ring 식각방지구조)

  - 방치압 향상

스펙


동영상

기술자료