Business Info
사업소개
진공밸브사업
Auto Gate Valve (AGV)
제품설명
- - 공정 Back-stream 보호 (펌프 다운시 밸브가 긴급히 0.5초 이내에 빠르게 닫힘)
- - 공정 파우더로 부터 밸브 메커니즘 보호
- - ETCH, Metal 프로세스 등 적용
상세내용
- Capacitor 탄화방지예방 기능 (Main Controller)
- Backstream 방지보완기능
- ETCH공정 Gas에 의한 O-Ring식각방지 Mechanism구현 (파우더에 대한 구동성능 향상)
- Bypass Valve 구조 향상 (O-Ring 식각방지구조)
- 방치압 향상
스펙
