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Business Info

사업소개

진공부품사업

Heater Block

제품설명

  • - Rapid Thermal Processing (RTP) 공정 설비에 적용
  • - 할로겐 램프가 결합되어 직접 웨이퍼에 빛을 쏘여 진행하는 열처리 방식에 적용
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상세내용

  • - 반도체 정밀 부품에 대한 상세 설계기술 보유
  • - 정밀 접합 브레이징 설계 기술
  • - 후가공 및 표면처리, 도금 관리 기술
  • - 정밀 3차원측정 기술 보유 

스펙


동영상

기술자료

  • [GV] 비츠로브이엠 제품소개서 카달로그 (영문)
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  • [GV] 비츠로브이엠 제품소개서 카달로그
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